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バッチプロセス装置

• 高品質成膜・高性能半導体製造装置「TSURUGI-C²®  剱®」
• 高生産性縦型装置 「AdvancedAce®-300」
• バッチ高温アニール装置
• 200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

枚葉プロセス装置

• 枚葉プラズマ窒化・酸化装置「MARORA®」
• 枚葉キュア・アニール装置「TΛNDUO®」
• 枚葉アッシング装置「Lambda300」

その他

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