製品情報

バッチプロセス装置

• 高品質成膜・高性能半導体製造装置「TSURUGI-C²®  剱®」
• 高生産性縦型装置 「AdvancedAce®-300」
• 200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置 「VERTEX® Revolution」

枚葉プロセス装置

• 枚葉プラズマ窒化・酸化装置「MARORA®」
• 枚葉キュア・アニール装置「TANDUO®」
• 枚葉アッシング装置「Lambda300」

その他

• 薄膜形成プロセス技術
• グループ会社取り扱い製品
• サービスサポート
• トレーニングセンタ

企業情報

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