サービスサポート

半導体デバイスの複雑化・微細化とともに、半導体製造装置の保守・メンテナンスの難易度も上がっています。当社グループでは、製造・販売する半導体製造装置の安定稼働をご提供するべく部品の安定供給と経験豊富なエンジニアによる技術提供を行っています。その範囲は一般的な保守・メンテナンスに留まらず、お客様の運用方法に合わせた装置の利用方法の最適化や機能のアップグレードなどをご提案しています。

また、生産を中止した部品の代替品の提供やアップグレード、生産性向上につながるリノベーションなど、お客様のご要望に応じた各種機能向上のご提案だけでなく、中古装置の販売なども行っています。

当社グループの装置を安心してご利用いただくため、世界各国にパーツセンターを配備しています。平常時には各国に点在するのパーツセンターから、緊急時は日本などに設置したグローバルセンターからスペアパーツを出荷することで、装置の安定稼働を実現します。また、より安定した装置運用をご希望されるお客様向けに、パーツ+保証サービスのパッケージプランも提供しています。

お客様の求める稼働率を確保するために、部品を安定供給し、メンテナンス作業やトラブル対応を一手に請け負うサービスをご提供しています。

常時エンジニアを配置することで、メンテナンス作業やトラブル解決など全般のサービスをご提供します。

時間を問わず連絡を受け次第、経験豊富なエンジニアがお客様のもとへ駆けつけます。

ウェアラブルカメラや遠隔操作システムを利用したリモートでの技術提供や、データ解析のサービスを行っています。

長時間のダウンタイムが発生した際には、エキスパートを派遣するサービスをご提供しております。

半導体デバイスの複雑化・微細化とともに装置の保守・メンテナンスの難易度も上がっており、当社グループの経験豊富なエンジニアが高品質、短時間での保守・メンテナンスサービスをご提供します。便利なPMキット(石英や消耗品など)と定期メンテナンス作業(例：1回/年)のパッケージオプションをご用意しています。

お客様の運用方法に合わせて、使用方法の最適化をご提案しています。また、データ解析ツールを駆使して装置間機差を最小化するサービスもご提供が可能です。

成膜処理時間の短縮、一括処理枚数の増加、メンテナンスフリーキットなどのご提案が可能です。

様々な膜種をオプションとしてご用意しています。

お客様の大事な製品ウェーハを保護する機能を用途に合わせてご提供します。

定期的なアップグレードにより、より高機能で利便性の良いソフトウェアをご提供します。

ランニングコストを削減可能な機能をご提案します。

環境に優しく、低エネルギーを目的としたオプション機能をご用意しています。

耐震、免震機能を備えた部品変更や改造のご提案が可能です。

販売・保守期間が終了した装置も末永くご使用していただくために、生産中止した一部の部品について代替品のご提供が可能です。

長期間利用いただいた装置のリノベーションを行っており、最新世代の装置に搭載されているユニットへの置き換え改造が可能です。お客様のご要望に応じたリノベーション提案も取り扱っておりますのでお気軽にお問い合わせください。

さまざまな機種、成膜プロセスの装置を取り扱っています。

専任インストラクターが、目的と目標スキルに合わせてトレーニングスケジュールをご用意します。お客様のご希望に応じたカリキュラムを組み、最適な環境でのトレーニングをご提供します。

確実にスキルを身に付けていただくための、複合トレーニングをご提供します。一人一人のレベルやトレーニングの時間に応じた個人学習が可能です。