サービスサポート
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当社では、お客様の工場をミニマムコストで操業するため、装置のヘルスチェックサポートや、低コストでの部品修理、再生のご提案を積極的に行っています。さらに、これからも継続して、ご使用いただくために、生産中止部品の代替品の提供、高機能化や生産性向上につながるリノベーションアイテムもご提案しています。また、お客さまからのご要望（VOC）をお伺いし、各種機能のレベル向上もご提案しています。
お気軽にお問い合わせください。 
サービスのご紹介
1. 装置保守・部品修理/再生
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- （1） 装置保守
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お客さまの工場をミニマムコストで操業するため、装置保守、部品修理、再生の各種提案を行います。お気軽にご相談ください。
- 搬送系機能診断
- 部品寿命監視
- ヒーターケーブル、熱電対ケーブル交換
- お客さまご購入装置のサービスイン
- 修理専用ライン
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- （2） 部品修理、再生
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お客さまの工場をミニマムコストで操業するため、装置保守、部品修理、再生の各種提案を行います。お気軽にご相談ください。
- 修理専用ラインおよび熟練スタッフによる修理
- 新品同等の出荷前検査の実施
- 修理時に機能アップサービス
- 部品再生によるコスト削減
- 部品再生
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2. 長期間ご使用された装置へのソリューション提案
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半導体製造装置を長期間、使用したいというご要望に対し、装置リノベーション、代替品開発、ヘルスチェックに基づく付加価値のある提案を行います。
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- （1） ヘルスチェック保守提案
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長期間、使用された装置の潜在的な不具合を診断し予防保全をご提案
- 装置状態監視システムによる装置コンディションの顕在化
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- （2） 生産中止部品の対応
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- 代替品開発・販売
- 中古部品の販売(動作確認品)
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- （3） 長期間ご使用された装置を最新技術でリノベーション （一例）
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- 最新コントローラシリーズへの置き換え
- 多品種少量生産に適したラージバッチ処理装置のミニバッチ化
- 処理枚数アップによる生産性向上
- 高速搬送移載機へのアップグレード
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- ヘルスチェック診断例
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サーモカメラによる不良の検出（ヒーター端子部緩みの検出）
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■正常状態
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■締付不良発見
3. 中古装置
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お客さまのご要望に応じた中古装置をご提供いたします。
- 当社協業パートナーと連携した最適中古装置を短納期でご提供
- 装置メーカ保証による安心・安全・安定
- 既設装置仕様に適合させたリファビッシュの実施
- 最適仕様を必要な時に低価格でご提供
- 当社協業パートナーと連携したターンキーソリューションのご提案
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■≦200mm
VERTEXシリーズ・横型装置・Epi他
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■300mm
QUIXACEシリーズ・ZESTONEシリーズ