枚葉キュア・アニール装置「TANDUO®」
概要
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※TANDUOは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。 -
TANDUO®（タンデュオ）はプロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
また、当社独自の高速搬送システムとの組み合わせにより、優れた生産性と低パーティクルなプロセス環境の提供を実現しています。- 対応プロセス
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- 低温アニール
- キュア処理
特長
- 当社独自の高速搬送システムにより、高スループットを実現
- 当社独自のサセプタヒータによる高均一なウェハ面内温度制御を実現
- 低レベルのコンタミネーション
- 省フットプリント、高稼働率
- 高い生産性を活かして、高スループット枚葉アニール装置としてWWの販売実績