製品情報 PRODUCTS

枚葉キュア・アニール装置「TΛNDUO®」

概要

  • 製品イメージ
    TΛNDUOは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
  • TΛNDUO®(タンデュオ)はプロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
    また、当社独自の高速搬送システムとの組み合わせにより、優れた生産性と低パーティクルなプロセス環境の提供を実現しています。

    対応プロセス
    • 低温アニール
    • キュア処理

特長

  • 当社独自の高速搬送システムにより、高スループットを実現
  • 当社独自のサセプタヒータによる高均一なウェハ面内温度制御を実現
  • 低レベルのコンタミネーション
  • 省フットプリント、高稼働率
  • 高い生産性を活かして、高スループット枚葉アニール装置としてWWの販売実績