枚葉アッシング装置「Lambda300」
概要
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Lambda300（ラムダ300）は当社独自のプラズマソース『ヘリカルリゾネータ』を用いることにより、ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現しています。
また、当社独自の高速搬送システムとの組み合わせにより、優れた生産性と高い稼働率により、多くのお客様から高い評価を得ております。- 対応プロセス
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レジストアッシング
- バルクアッシング
- 高ドーズインプラ後のアッシング
特長
- 当社独自の高速搬送システムにより、高スループットを実現
- λシリーズを踏襲し、同じプラズマソース『ヘリカルリゾネータ』採用により、プラズマダメージレスと高速アッシングを実現
- 当社独自のサセプタヒータによる高均一なウェーハ面内分布を実現
- 省フットプリント、高稼働率
- ノーマルアッシング、ハイドーズアッシング、ライトエッチに対応