製品情報 PRODUCTS

枚葉アッシング装置「Lambda300

概要

  • 製品イメージ
  • Lambda300(ラムダ300)は当社独自のプラズマソース『ヘリカルリゾネータ』を用いることにより、ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現しています。
    また、当社独自の高速搬送システムとの組み合わせにより、優れた生産性と高い稼働率により、多くのお客様から高い評価を得ております。

    対応プロセス
    レジストアッシング
    • バルクアッシング
    • 高ドーズインプラ後のアッシング

特長

  • 当社独自の高速搬送システムにより、高スループットを実現
  • λシリーズを踏襲し、同じプラズマソース『ヘリカルリゾネータ』採用により、プラズマダメージレスと高速アッシングを実現
  • 当社独自のサセプタヒータによる高均一なウェーハ面内分布を実現
  • 省フットプリント、高稼働率
  • ノーマルアッシング、ハイドーズアッシング、ライトエッチに対応