• 枚葉プラズマ窒化・酸化装置「MARORA®」

  

• 枚葉キュア・アニール装置 「TΛNDUO®」

  

• 枚葉アッシング装置 「Lambda300」

  

※MARORA、TΛNDUOは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。