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200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

概要

  • 製品イメージ
  • 200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置のVERTEX®(ベルテックス)シリーズは豊富な納入実績を誇るベストセラー装置です。
    DRAMなどの大量生産ラインから、ロジック系デバイスの少量多品種ラインまで、お客様のニーズに最適な機種をお選びいただくことができ、 200mmウェーハ以外の150mmウェーハ以下も対応可能です。

    対応プロセス
    • LP CVD
    • 酸化
    • アニール (低温、高温)
    • 拡散

    ※VERTEXは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

特長

  • 150枚一括処理により高スループット実現
  • 高速昇降温ヒータによりサーマルバジェット低減
  • 雰囲気制御(オプション:真空L/L)でプロセス性能向上
  • ウインドウ方式のコントローラにより操作性向上