200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置「VERTEX® Revolution」
概要
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豊富な納入実績を誇るベストセラー装置200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置のVERTEX®（ベルテックス）シリーズの最新版が「VERTEX® Revolution」です。
少量多品種ラインから大量生産ラインまで、お客様のニーズに最適な機種をお選びいただくことができ、200mmウェーハ以外の150mmウェーハ以下も対応可能です。- 対応プロセス
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- LP CVD
- 酸化
- アニール (低温、高温）
- 拡散
※VERTEXは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
特長
- 豊富な納入実績を誇るVERTEX®シリーズとのプロセス互換性を確保
- 300mm装置の最新設計を取り入れ、処理速度が向上しました
- 高生産性炉（175枚処理）および低天井対応炉（100枚処理）のオプションを用意
- 雰囲気制御で大気中の酸素濃度や湿度に敏感なプロセスに対応（オプション）
- コントローラを最新のアーキテクチャに刷新し、処理性能向上及び生産中止リスク払拭