TSURUGI-C²®  剱®は、次世代デバイス、特に3次元（立体構造）デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえるため、新反応炉を採用した成膜処理技術向上により、高品質なプロセス提供を可能にした新たなサーマルプロセス装置です。

対応プロセス

• 薄膜形成

※TSURUGI-C²、剱のロゴは株式会社 KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。