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高生産性縦型装置 「AdvancedAce®-300」

概要

  • 製品イメージ
  • AdvancedAce®(アドバンスドエース)は、当社のコア技術である温度制御技術、自動搬送技術、真空・ガス置換技術、冷却技術、成膜技術を結集することで、飛躍的にサイクル時間を短縮し、高スループットを実現したサーマルプロセス装置です。

    対応プロセス
    • LP CVD
    • 酸化
    • アニール (低温、高温)
    • 拡散

    ※AdvancedAceは株式会社 KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

特長

  • 高生産性の実現:最大1.5倍のロット処理を実現(※当社比)
  • 深溝形状への均一な膜形成
  • 低温で高精度・高品質な成膜を実現
  • ヘルスチェック機能(オプション)