バッチプロセス装置
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- 高品質成膜・高性能半導体製造装置「TSURUGI-C2® 剱®」
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- 高生産性縦型装置「AdvancedAce®-300」
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- 200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置「VERTEX® Revolution」
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※TSURUGI-C²、剱のロゴ、AdvancedAce、VERTEXは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。