ミクロソニック^®超音波振動子

ミクロソニック外付振動子の一例

• 各種ウェーハサイズ・処理枚数に対応する、外付振動子を多数取りそろえています。当社にお問い合わせください。
• 730kHz・1MHz振動子は投込振動子も取りそろえています。当社にお問い合わせください。

主な仕様

主な仕様

組み合わせ発振器 ※1	UO1200PMCX
周波数	730kHz	1MHz
振動素子	PZT
使用液温	15　to　70℃
振動板材質	SUS
カバー	材質 SUS
取付ボルト	材質 SUS
オプション	カバー	構造	材質
		密閉型	SUS
	パッキン	材質
		EPDM
		シリコーンゴム
		クロロプレン ゴム
		フッ素ゴム
		ゴアテックス®
	ナット・ばね座金・平座金 ※2	材質： SUS

※1 UO1200PMCX選択時は周波数をご指定ください。
※2 数量は型式により異なります。
※ ミクロソニックは株式会社国際電気セミコンダクターサービスの登録商標です。
※ ゴアテックスはW.L.Gore & Associates,Inc.の登録商標です。

超音波洗浄機に関するお問合せ

お電話・FAXでのお問い合わせは
株式会社国際電気セミコンダクターサービス
担当部署：営業部
TEL：042(512)7287　FAX：042(512)7907

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