充実したラインアップでお客様用途に最適なシステムをご提供します 。

概要

• VR300DH3は、200mm向け自動搬送システム付きの装置で、VR300DSE(オープンカセットタイプ)後継機種となります。
• 当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの四探針測定器です。
• 詳細についてはこちらよりお問合せください。

特長

• プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定
• 最適なプローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
• 高スループット化によるCoOの低減
• 1ロードポート対応、ポートはオープンカセットタイプ
• プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載(オプション)
• 抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能
• SEMI E95準拠の画面により操作性向上
• 低抵抗試料に対応した測定レンジに対応(オプション)

アプリケーション

• シリコン、ポリシリコン等の材料関連
• イオン注入、拡散、メタル膜等

抵抗率測定器に関するお問い合わせ

お電話・ＦＡＸでのお問い合わせは
株式会社国際電気セミコンダクターサービス
担当部署：営業部
TEL：042(512)7287　FAX：042(512)7907

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