| Q.1 | コントローラの修理期間をもっと短縮出来ませんか？ |
|---|---|
| A.1 | 当社ではコントローラ等の修理期間を短縮するため、過去の修理データを基に交換パーツの拡充を図りL/Tの短縮を進めております。また、5年以上ご使用頂いているコントローラに関してはO/Hメニューを各コントローラ毎にご用意しております。 |
| Q.2 | 1年程前に修理しましたが、前回とは異なるエラーが発生しました。装置納入から8年経過しているのでO/H等が必要でしょうか？ |
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| A.2 | 5年以上経過したコントローラは使用している電子部品の劣化が徐々に進み故障に至りますが、故障個所だけの修理の場合、数ヶ月、数年後に別の電子部品の劣化により故障が発生するケースがございます。当社では5年以上経過したコントローラに関してO/Hメニューを各コントローラ毎にご用意しております。 |
| Q.3 | コントローラの修理をお願いしたいのですが、修理期間中に貸出し可能な代替コントローラは有りますか？ |
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| A.3 | 各種コントローラに関して代替品で対応可能です。また、保守契約を締結されていないお客様には有償での対応が可能です。 |
| Q.4 | デバイスの生産に伴い、チャンバー内に副生成物が付着する為、付着物の除去に苦労してます。またウエット洗浄でも、落ちないこびりつき等は金属ヘラを使用して剥がしてますが、部品のキズ等も気になります。生成物が付着しない様なコーティング等ないでしょうか？ |
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| A.4 | 各種装置、仕様ガス、製品プロセスにおいて、どうような影響が出るか不明な事もあり、当社ではコーティングではなく、頑固な付着物に対して有効な洗浄方法をご提案しております。 |
| Q.5 | 半導体デバイス関連の研究を行っている者ですが、研究なので、いろいろなウエーハやプロセス評価を行う際、大きな装置は必要なく小型でウエーハも手で入れるタイプ。出来れば卓上型炉の様な製品は無いのでしょうか？ |
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| A.5 | 大変、申し訳ございません。当社では卓上型炉をラインアップしておりません。しかし省スペースでウエーハを人の手でハンドルするタイプの装置はございますのでお問い合わせください。 |