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バッチサーマルプロセス装置「QUIXACE」

概要

  • 製品イメージ
  • QUIXACE(クイックエース)は、当社のコア技術である温度制御技術、自動搬送技術、真空・ガス置換技術、冷却技術、成膜技術を結集することで、飛躍的にサイクル時間を短縮し、高スループットを実現したバッチ処理装置です。

    対応プロセス
    • LP CVD
    • 酸化
    • アニール

    ※QUIXACEは株式会社 KOKUSAI ELECTRICの登録商標です

特長

  • ラージバッチ装置(最大125枚一括処理)とミニバッチ装置(最大50枚一括処理)をラインナップ
  • ショートサイクルタイムの実現による高スループット
  • ガスクリーニングによるダウンタイム低減、稼働率向上
  • 高速昇降温ヒータ、ウェーハ高速搬送システム搭載
  • 雰囲気制御(オプション:真空L/L、N2パージ)でプロセス性能向上