製品情報 PRODUCTS

バッチ高温アニール装置

概要

  • 製品イメージ
  • 高温アニール装置は、高品質ウェーハ向けの高温アニールプロセスと半導体デバイスプロセスの高温処理に対応した装置です。
    超高温アニールプロセスでは、1350℃という高温下においてのプロセスで発生するスリップを抑制し、大口径300mmウェーハを高スループットに処理します。

    対応プロセス
    • 高温アニール
    • 超高温アニール(1300℃以上)

特長

  • 1350℃スリップフリー
  • 300mmウェーハ対応
  • 多数枚一括同時処理により高スループット実現
  • 高清掃構造により、金属汚染低減