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株式会社 国際電気セミコンダクターサービス

半導体製造装置の長期間使用へのご要望に対し、装置リノベーション、代替品開発、ヘルスチェックに基づく付加価値のある提案を行います。

長期使用装置を最新技術でリノベーション

最新コントローラシリーズへの置換え

最新コントローラシリーズへの置換え
  • 12inch TFT Color LCD Touch Panel採用による操作性の向上
  • 豊富なData収集能力HDD:320G byte×2(RAID DISK)
  • Process DataのGraph表示により Engineering機能の向上

多品種少量生産に適したラージバッチ処理装置のミニバッチ化

  • 省エネ:電力量25%低減、ダミーウェーハ削減、TAT:14%短縮、ラージ ⇔ ミニバッチの容易な切換え

処理枚数アップによる生産性向上

  • 150 → 175枚化

高速搬送移載機へのアップグレード

  • 搬送時間の短縮 → TAT短縮に貢献
高速搬送移載機へのアップグレード

生産中止対応

代替品開発

  • コントローラー、各軸ドライバー、モーター 他

中古部品(動作確認品)

代替品開発

ヘルスチェック保守提案

ヘルスチェックとは

  • 長期使用装置の潜在的な不具合を診断し予防保全をご提案

最新のオーバーホール

  • 搬送系、制御系、電源 他
    - サーモカメラ
    - 隙間監視カメラ

代替テキスト

この先もより永く安心してご使用いただくためのサービスを提供します。

長期間使用装置へのソリューション提案に関するお問合せ

お電話・FAXでのお問い合わせは、 最寄りのサービス拠点までお問合せください。