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株式会社 国際電気セミコンダクターサービス

当社は、(株)Kokusai Electric社製 半導体製造装置の「修理」「移設・改造」「オーバーホール」「部品販売」の業務を行っております。

移設・改造

既存製品の交換・改造から、部品の変更、設備の老朽化や新技術動向に対応するリニューアル提案まで、幅広いサービスを行っています。

  • 膜種変更
    (ガス種、制御レシピ変更など)
  • コントローラ改造
    (縦型炉コントローラ改造)
  • ウェーハサイズ変更
    (シリコンウェーハサイズの変更)
  • 排気系改造
    (ポンプ・バルブ、配管交換など)

移設・改造

オーバーホール

劣化部品交換やグリスアップから、日常点検では行き届かない箇所の清掃や装置の分解による点検・修復まで、装置性能の維持向上を見据えた提案を行っています。

  • 排気系ホーバーホール
    (配管清掃、Oリング、パッキン交換など)
  • 移載機系オーバーホール
    (LMガイドグリースアップ・ベアリング交換など)
  • 装置全体リフレッシュオーバーホール
    (駆動ケーブル交換・電池交換・グリースアップなど)

オーバーホール

「半導体製造装置の修理・改造・移設・オーバーホール・部品販売」に関するお問い合わせ
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装置移設・改造、オーバーホールに関するお問合せ

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