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株式会社 国際電気セミコンダクターサービス

SSF

SSF

特長

  • 自動搬送機能を省いた小型シンプル構成、最小フットプリント *1
  • ロット単位で処理が可能
  • あらゆる種類の試料を処理可能
  • 横型炉の老朽化更新に最適なコストパフォーマンスを発揮

*1 当社比

SSF
項目 仕様
ウェーハサイズ 〜Φ200mm
処理枚数 100枚/バッチ
均熱長 600〜700mm
温度領域 300°C〜1200°C
温度コントロール 4ゾーン(ヒータ制御)
膜種対応 拡散・酸化:PYRO、DRY、低温N2アニール等
装置サイズ 900W×1550D×2650H mm

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